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首页 > 产品展示 > 多晶硅还原炉钟罩清洗系统

  • 多晶硅还原炉钟罩清洗系统
多晶硅还原炉钟罩清洗系统
多晶硅还原炉钟罩清洗系统是以高压水射流为动力,以水力自驱动三维洗罐器为喷头,形成360°的网状喷射表面,完成钟罩内部表面的水力扫射,用专用清洗剂等为主要清洗液,用纯水(去离子水或叫脱盐水)漂洗,用高纯水冲洗,完成清洗过程。
产品描述
相关配件
应用案例
多晶硅还原炉钟罩自动清洗烘干系统 Bell jar cleaning system
 
  ■适用范围
 
  西门子法多晶硅还原炉钟罩(炉筒)内壁的全自动清洗和烘干。
 
  ■工作原理
 
  以高压水射流为动力,以水力自驱动三维洗罐器为喷头,形成360°的网状喷射表面,完成钟罩内部表面的水力扫射,用专用清洗剂等为主要清洗液,用纯水(去离子水或叫脱盐水)漂洗,用高纯水冲洗,完成清洗过程。
 
  用经过三级净化(10万级)的纯净空气,梯级加热,最终保证烘干完的钟罩不再结露,可直接进入生产作业。
 
  ■系统特点
 
        1)技术能力强,设计合理,根据客户需求,总结借鉴国内外还原炉钟罩及其它罐类清洗烘干经验,充分发挥高压水清洗和吸除尘的技术优势,设计出本套系统,实现了还原炉钟罩的全自动清洗和烘干操作。可根据使用方不同还原炉钟罩、车间厂房的情况,能源条件不同,提供个性化设计。
 
        2)设备性能可靠,核心部件、元件和附件原装进口。
 
        3)自动化程度高:PLC+触摸屏柔性自动控制系统,实现对还原炉钟罩的自动清洗和烘干同时具有半自动或手动功能。
 
        4)适应范围广:可以在一套系统实现多种型号还原炉钟罩的清洗烘干。
 
        5)节能、环保、安全:提供了预热(余热蒸汽、余热水或油)加热清洗水及干燥空气的方案。全密闭式清洗烘干系统,基本消除了对现场及操作人员的污染。
 
        6)德高洁集团在北京、上海、深圳、成都、西安、武汉均设有分公司及办事处。服务体系网络健全,零配件充足。
 
  ■工作流程
 
  还原炉钟罩到位—预清洗—清洗剂(碱液)清洗—漂洗—高纯水冲洗—净化热空气干燥—常温干燥—钟罩吊走。
 
  注:清洗剂的选择对清洗效果和作业安全有直接影响,这方面我公司积累了丰富的实践经验解决闪爆等问题。
 
  ■基础条件
 
  1)电源:380V/50Hz,30KW,电缆引至控制柜。
 
  2)蒸汽:压力0.175-0.9Mpa(G),到指定接口点。
 
  3)压缩空气:不小于流量3NM3/h,压力0.6-0.75Mpa(G)(气动阀、气缸用气), 指定接口点。
 
  4)脱盐水:可提供条件,不小于100L/min,到指定接口点。
 
  5)纯水:不小于 100L/min,到指定接点。
 
  6)清洗剂:NaOH清洗液等,不小于2立方米。
 
  7)占地面积:36-80平方米(宽约6-7米,长6-12米
 
  8)三废处理:洗涤后的含酸或碱液废水、废渣,排放到需方指定处,由需方自行处理,配排污水(池、槽)沟;清洗和烘干产生的废气做室外排空排放。
 
  ■设备组成
 
  1)高压热水清洗动力装置1套
 
由高压热水清洗机及附件(1套),高压水自驱动三维洗罐器(1套),三维洗罐器升降装置(气动,1套)组成。
 
  2)热风净化烘干机组1套
 
进风净化等级:10万级。
 
  3)清洗烘干工作台及管道1套
 
  4)电气控制系统1套。
 
采用PLC+触摸屏全自动控制,全套德高洁版控制软件。
 
  注:水和风的加热方式:电加热,蒸汽、余热水或油的热交换器换热。